Innehållsförteckning:
Definition - Vad betyder nanolitografi?
Nanolitografi är en gren av nanoteknologi och namnet på processen för att trycka, skriva eller etsa mönster på mikroskopisk nivå för att skapa otroligt små strukturer. Denna process används vanligtvis för att skapa mindre och snabbare elektroniska enheter som mikro / nanochips och processorer. Nanolitografi används främst inom olika tekniska sektorer från elektronisk till biomedicinsk.Techopedia förklarar nanolitografi
Nanolitografi är en bred term som används för att beskriva olika processer för att skapa nanoskala mönster på olika media, varav den vanligaste är halvledarmaterialet kisel. Det dominerande syftet med nanolitografi är krympningen av elektroniska anordningar, vilket gör att fler elektroniska delar kan pressas in i mindre utrymmen, dvs. mindre integrerade kretsar som resulterar i mindre anordningar, som är snabbare och billigare att tillverka eftersom färre material krävs. Detta ökar också prestanda och responstider eftersom elektronerna bara behöver resa mycket korta avstånd.
Vissa tekniker som används i nanolitografi är följande:
- Röntgen litografi - Implementeras genom en närmstryckmetod och förlitar sig på nära fält röntgenstrålar i Fresneldiffraktion. Det är känt att utöka sin optiska upplösning till 15 nm.
- Dubbel mönster - En metod som används för att öka tonhöjdsupplösningen för en litografisk process genom att skriva ut ytterligare mönster mellan mellanslag på redan tryckta mönster i samma lager.
- Elektronstråle direktskrivning (EBDW) litografi - Den vanligaste processen som används i litografi, som använder en elektronstråle för att skapa mönster.
- Extrem ultraviolett (EUV) litografi - En form av optisk litografi som använder sig av ultrashort-ljusvåglängder på 13, 5 nm.
